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本发明涉及半导体检测技术领域，具体地说是一种用于3D X‑ray检测的夹持移动装置及检测方法。检测装置包括基座底盘，基座底盘与移动基座连接，移动基座与样品支架连接，移动基座包括平面移动机构、旋转机构、伸缩机构，样品支架的一侧设有样品旋转和翻...
该专利属于宏茂微电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宏茂微电子（上海）有限公司授权不得商用。

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