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本申请涉及溅射靶材技术领域，具体公开了一种用于溅射薄膜晶体管的掺杂IZO靶材及其制备方法。一种用于溅射薄膜晶体管的掺杂IZO靶材，包括多元氧化物粉末、粘结剂和增塑剂；所述多元氧化物粉末包括以下重量份的原料：氧化铟86‑89.6份，氧化锌9....
该专利属于中山智隆新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山智隆新材料科技有限公司授权不得商用。

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