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本申请涉及精密运动控制领域，特别是涉及一种压电自感知电路、压电致动装置和纳米定位系统，所述电路包括压电致动器、压电自感知单元、扰动抑制单元、增益放大器、增益衰减器以及差分放大器；所述差分放大器基于所述增益放大器输出的第一电压信号和所述压电致...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。

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