【技术实现步骤摘要】
本申请涉及精密运动控制领域，特别是涉及一种压电自感知电路、压电致动装置和纳米定位系统。
技术介绍
1、压电致动器具有产生亚纳米级运动精度与分辨率的能力。相比于其他形式的致动器，如磁致伸缩式、静电式、电热式、形状记忆合金等，压电致动器有多重优点，包括体积小、刚度高、响应快、输出力大、位移分辨率高等。因此，在扫描隧道显微镜、原子力显微镜等微结构表面形貌测量中发挥着重要作用。
2、目前，在纳米定位系统中，为了感知微动机构(如微动平台)的输出位移，主要采用精密位移传感器进行测量，包括电阻应变片、电感式传感器、激光干涉传感器、电容式传感器等。虽然这些传感器可以提供高精度的位移测量结果，但是价格昂贵，显著增加了纳米定位系统的成本。此外，在一些纳米定位系统中，由于空间限制的原因无法安装直接传感器，使得位移测量变得更加困难。因此，在纳米定位系统的开发中，需要考虑各种因素，探索更灵活、更具实用性的位移检测方法。
3、目前压电自感知技术面临的主要难题是输出信号存在低频漂移，无法提供长时间段内的准确输出。这一问题严重影响了自感知技术的...
【技术保护点】
1.一种压电自感知电路，其特征在于，所述电路包括压电致动器、压电自感知单元、扰动抑制单元、增益放大器、增益衰减器以及差分放大器；其中，
2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述压电自感知单元包括感知电容C1，所述差分放大器的正相、反相输入端分别连接在所述感知电容C1的两端。
3.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述扰动抑制单元包括积分器，所述积分器的输入端输入参考电压信号，输出端连接所述增益放大器的输入端。
4.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，所述电路还包括高压缓冲单元，连接在所述感知电容C1的两端和所述差分放大器...
【技术特征摘要】
1.一种压电自感知电路，其特征在于，所述电路包括压电致动器、压电自感知单元、扰动抑制单元、增益放大器、增益衰减器以及差分放大器；其中，
2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述压电自感知单元包括感知电容c1，所述差分放大器的正相、反相输入端分别连接在所述感知电容c1的两端。
3.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述扰动抑制单元包括积分器，所述积分器的输入端输入参考电压信号，输出端连接所述增益放大器的输入端。
4.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，所述电路还包括高压缓冲单元，连接在所述感知电容c1的两端和所述差分放大器的正相、反相输入端之间。
5.根据权利要求4所述的电路，其特征在于，所述高压缓冲单元包括第一高压缓冲模块和第二高压缓冲模块，所述第一高压缓冲模块连...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨琛，党超群，居冰峰，
申请(专利权)人：浙江大学杭州国际科创中心，
类型：发明
国别省市：
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