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本发明提供一种MEMS压力传感器及其制作方法，其中，MEMS压力传感器包括：第一衬底，其具有正面和背面；结构层，其包括器件层、绝缘阻挡层和掺杂层，且所述器件层、绝缘阻挡层和掺杂层自所述第一衬底的正面且沿所述第一衬底的背面向正面的指向依次层叠...
该专利属于苏州跃芯微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州跃芯微传感技术有限公司授权不得商用。

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