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本技术公开了一种在线测量OLED蒸镀膜层厚度的系统，涉及光学测量技术领域，包括数据处理模块、光谱检测模块、腔室、测量模块、基板和蒸镀膜层，其中：所述测量模块用于将接收到的出射光信号发射至蒸镀膜层上和将接收到的反射光信号传输到光谱检测模块；所...
该专利属于成都羲力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都羲力科技有限公司授权不得商用。

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