一种在线测量OLED蒸镀膜层厚度的系统技术方案

本技术公开了一种在线测量OLED蒸镀膜层厚度的系统，涉及光学测量技术领域，包括数据处理模块、光谱检测模块、腔室、测量模块、基板和蒸镀膜层，其中：所述测量模块用于将接收到的出射光信号发射至蒸镀膜层上和将接收到的反射光信号传输到光谱检测模块；所述的光谱检测模块用于将出射光信号发射到测量模块和将所述测量模块传输的反射光信号转化为电信号传递给数据处理模块；所述的数据处理模块用于将接收到的电信号拟合出蒸镀膜层的厚度并显示。本系统将测量模块集成在腔室内，在不更换腔室氛围环境的条件下，通过垂直光入射的原理，在线测量出每一片蒸镀膜层的厚度，降低了成本、减少了测量时间、监测准确度大幅提升。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学测量，确切地说涉及一种在线测量oled蒸镀膜层厚度的系统。

技术介绍

1、水蒸镀工艺作为oled面板显示行业的核心工艺，其对整个面板的生产良率起着决定性的作用，蒸镀机的作用是将发光材料、其他功能性材料采用加热的方式在超高真空的环境中蒸发到目标基板的特定的位置，由于oled发光的特殊原理，沉积在基板上的薄膜特别薄，薄膜厚度约在：0.1nm—12nm之间，并且沉积薄膜在基板上的准确性对于oled发光器件尤为重要，如何在生产工艺中控制薄膜的膜厚的准确性和稳定性是器件成功的最重要的因素。同时由于薄膜材料多为有机物，且对水氧敏感，行业都采用光学非接触性的方法测量薄膜的厚度，成熟的方法为采用椭偏仪(se)测量薄膜厚度。

2、在现有技术中，se测量原理为入射光经过45°照射薄膜的表面，透过薄膜后被基底反射回来的光以45°出射到镜头，光经过薄膜后，光波的相位角发生变化，其变化的大小是薄膜厚度的函数，可以通过拟合的方式得到薄膜的厚度，所以se的测量方式需要两个45°镜头才能完成光谱信息的采集，并且测量时要求被测量物体必须放置在大理石工作台面上，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种在线测量OLED蒸镀膜层厚度的系统，其特征在于：包括数据处理模块（1）、光谱检测模块（3）、腔室（9）、测量模块（6）、基板（8）和蒸镀膜层（7），所述蒸镀膜层（7）沉积在所述基板（8）上，所述基板（8）、测量模块（6）都在腔室（9）内部，所述数据处理模块（1）、光谱检测模块（3）都在腔室（9）外部，所述测量模块（6）在蒸镀膜层（7）的下方，其中：

2.根据权利要求1所述的一种在线测量OLED蒸镀膜层厚度的系统，其特征在于：所述的测量模块（6）包括底座（10），三维运动平台（11）和镜头装置（12），所述底座（10）与腔室（9）底部通过固定螺栓连接，底座（10）上设置...

【技术特征摘要】

1.一种在线测量oled蒸镀膜层厚度的系统，其特征在于：包括数据处理模块（1）、光谱检测模块（3）、腔室（9）、测量模块（6）、基板（8）和蒸镀膜层（7），所述蒸镀膜层（7）沉积在所述基板（8）上，所述基板（8）、测量模块（6）都在腔室（9）内部，所述数据处理模块（1）、光谱检测模块（3）都在腔室（9）外部，所述测量模块（6）在蒸镀膜层（7）的下方，其中：

2.根据权利要求1所述的一种在线测量oled蒸镀膜层厚度的系统，其特征在于：所述的测量模块（6）包括底座（10），三维运动平台（11）和镜头装置（12），所述底座（10）与腔室（9）底部通过固定螺栓连接，底座（10）上设置有三维运动平台（11），所述三维运动平台（11）与镜头装置（12）活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种在线测量oled蒸镀膜层厚度的系统，其特征在于：所述三维运动平台（11）和镜头装置（12）分别设置有球形万向接头，并通过接头座连接两个球形万向接头。

4.根据权利要求1所述的一种在线测量oled蒸镀膜层厚度的系统，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有亮，奉洛阳，刘世刚，胡润平，
申请(专利权)人：成都羲力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：