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临时固定用膜、临时固定用层叠体及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:41003310
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本发明公开一种用于临时固定半导体部件和支承部件的临时固定用膜。该临时固定用膜含有炭黑和固化性树脂成分。固化性树脂成分包含热固性树脂及热塑性树脂。热塑性树脂为烃树脂。在该临时固定用膜中,炭黑的含量满足下述条件(i)及条件(ii)中的至少一个条...
该专利属于株式会社力森诺科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社力森诺科授权不得商用。
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