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本发明公开了一种微纳多层膜型薄膜传感器及制造方法，所述微纳多层膜型薄膜传感器包括衬底、薄膜A和薄膜B，所述衬底外设置电极层，所述薄膜A和薄膜B设置在衬底上。本发明的制备方法可以在不借助先进光刻工艺及刻蚀工艺的情况下实现纳米级电阻电路的精确制...
该专利属于贵州航天电器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵州航天电器股份有限公司授权不得商用。

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