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一种双压电薄膜压电超声换能器，包括自下而上依次层叠的衬底、种子层、底部电极层、顶部电极层、绝缘层和引线层，所述衬底自下而上包括底硅层、埋氧层和结构硅层，该衬底的中心开设有空腔，该空腔由所述底硅层截止到埋氧层，并在所述结构硅层呈圆弧状；在所述...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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