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本发明涉及检测设备技术领域，提供了一种测量装置、检测设备及检测方法。测量装置包括基座、弹性件、探头和位移传感器。其中，基座设有承载面，用于承载待测工件；弹性件连接于基座；探头通过弹性件浮动地连接于基座，沿第一方向，探头与承载面之间具有间隙，...
该专利属于深圳市天麟精密模具有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市天麟精密模具有限公司授权不得商用。

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