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本发明提供物理量传感器和惯性计测装置，同时实现布线的自由度的提高和构造的适当化。物理量传感器包含基板、第1固定部、第1支承梁、可动体、第1固定电极固定部、第2固定电极固定部、第1固定电极部、第2固定电极部和第1布线。第1固定部固定于基板。第...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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