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本申请公开了一种超薄光栅镀膜设备，其包括上料部、真空加热部、真空镀膜部和载片组件，载片组件包括上栅极掩膜板和下栅极掩膜板，其中：上料部设置在真空加热部的前道；真空加热部设置在真空镀膜部的前道；装载硅片的载片组件放置在上料部的进料端，并依次通...
该专利属于无锡釜川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡釜川科技股份有限公司授权不得商用。

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