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本申请涉及一种隔离装置及分子束外延设备，属于半导体外延技术领域。包括：箱体，具有第一通道，第一通道的一端连通真空腔室，另一端连通冷泵；隔离芯，位于第一通道内，使得在第一通道流动的流体能接触隔离芯的外壁；隔离芯具有容纳冷却剂的第一内腔，以使隔...
该专利属于埃特曼半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃特曼半导体技术有限公司授权不得商用。

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