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本技术属于半导体芯片测试技术领域，具体涉及一种半导体芯片测试系统。其包括：测试载台、探针座、出光耦合组件及入光耦合组件，探针座中安装的探针与芯片的两电极电连接；出光耦合组件设置于测试载台第一侧，出光耦合组件上设置有出光光纤；入光耦合组件设置...
该专利属于上海菲莱测试技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海菲莱测试技术有限公司授权不得商用。

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