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文档序号:40984038
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本发明提供一种检测设备及检测方法,检测设备包括样品台、激光入射模块、成像模块、光谱检测模块和探针检测模块,样品台用于放置样品;激光入射模块用于发出入射光线射向样品;成像模块用于获取样品的图像信息;光谱检测模块接收入射光线入射至样品后返回的信...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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