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本技术提供了一种分层氧化铝钝化薄膜及基于其制备的晶硅太阳能电池。所述分层氧化铝钝化薄膜的结构自下而上依次包括硅基底、氧化硅层、欠氧氧化铝层和富氧氧化铝层；欠氧氧化铝层和富氧氧化铝层是在制备氧化铝的过程中通过控制H<subgt;2<...
该专利属于河北大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北大学授权不得商用。

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