分层氧化铝钝化薄膜及基于其制备的晶硅太阳能电池制造技术

本技术提供了一种分层氧化铝钝化薄膜及基于其制备的晶硅太阳能电池。所述分层氧化铝钝化薄膜的结构自下而上依次包括硅基底、氧化硅层、欠氧氧化铝层和富氧氧化铝层；欠氧氧化铝层和富氧氧化铝层是在制备氧化铝的过程中通过控制H<subgt;2</subgt;O或O<subgt;3</subgt;的通气时间而得到，制备欠氧氧化铝层时H<subgt;2</subgt;O或O<subgt;3</subgt;的通气时间要少于制备富氧氧化铝层时H<subgt;2</subgt;O或O<subgt;3</subgt;的通气时间。本技术实现了氧化铝的梯度场钝化，可增强多数载流子的引出，提升晶硅太阳能电池转换效率；而且，本技术不需要增加成本，在现有成熟工艺基础上改变氧化铝沉积工艺方法即可。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池，具体地说是一种分层氧化铝钝化薄膜及基于其制备的晶硅太阳能电池。

技术介绍

1、在光伏电池领域，降低晶硅太阳能电池的生产成本，进一步提高晶硅太阳能电池转换效率，仍是人们追求的目标。而在整个电池结构中，由于硅原子的无序排列，导致硅片表面有大量悬挂键的存在，悬挂键很容易捕获电子，使电池表面复合增加，使电池效率降低。为了提高晶硅太阳能电池效率，降低表面复合，通常会在器件表面沉积一层很薄的介质或者半导体材料，即表面钝化处理。氧化铝作为一种具有半导体性质的氧化物，对硅表面具有化学钝化的作用。此外，由于氧化铝中铝空位的存在，使得氧化铝呈现电负性，沉积在晶硅太阳能电池p型发射极一侧表现出场钝化的作用。目前氧化铝薄膜广泛应用于p型perc电池和n型topcon电池中。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种分层氧化铝钝化薄膜及基于其制备的晶硅太阳能电池，以实现氧化铝的梯度场钝化，提升晶硅太阳能电池的转换效率。

2、本技术是这样实现的：

3、一种分层氧化铝钝化薄膜，其结构自下而上依本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种分层氧化铝钝化薄膜，其特征是，其结构自下而上依次包括硅基底、氧化硅层、欠氧氧化铝层和富氧氧化铝层；所述硅基底为P型单晶硅、P型多晶硅或者进行硼掺杂后的N型单晶硅或N型多晶硅。

2.根据权利要求1所述的分层氧化铝钝化薄膜，其特征是，所述氧化硅层的厚度为0.5nm~3nm；欠氧氧化铝层的厚度为0.5nm~5nm，富氧氧化铝层的厚度为0.5nm~5nm。

3.一种基于分层氧化铝钝化薄膜制备的晶硅太阳能电池，其特征是，该晶硅太阳能电池为P型perc电池或N型TOPCon电池；该晶硅太阳能电池的结构中采用了权利要求1~2任一项所述的分层氧化铝钝化薄膜。

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【技术特征摘要】

1.一种分层氧化铝钝化薄膜，其特征是，其结构自下而上依次包括硅基底、氧化硅层、欠氧氧化铝层和富氧氧化铝层；所述硅基底为p型单晶硅、p型多晶硅或者进行硼掺杂后的n型单晶硅或n型多晶硅。

2.根据权利要求1所述的分层氧化铝钝化薄膜，其特征是，所述氧化硅层的厚度为0.5nm~3nm；欠氧氧化铝层的厚度为0.5nm~5nm，富氧氧化铝层的厚度为0.5nm~5nm。

3.一种基于分层氧化铝钝化薄膜制备的晶硅太阳能电池，其特征是，该晶硅太阳能电池为...

【专利技术属性】
技术研发人员：于威，崔义乾，刘海旭，路万兵，于波，张瑜，魏佳琪，熊雨晨，
申请(专利权)人：河北大学，
类型：新型
国别省市：