下载一种真空离子镀膜用送气装置的技术资料

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本技术为一种真空离子镀膜用送气装置,涉及真空离子镀膜技术领域。技术特征包括混合腔结构,其具有进气口和出气口;所述进气口处连接有进气管道,所述进气管道与提供气体的气瓶连接;所述出气口处连接有出气管道,所述出气管道上设置多组支路管道;所述混合腔...
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