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本发明公开了一种具有适应调节机构的半导体加工用抛光装置，包括：底板；送料工位，所述送料工位固定安装在底板顶端靠近左侧的位置处，用于对待抛光的半导体进行送料；抛光工位，所述抛光工位固定连接在送料工位的顶端中部。本发明设置有送料工位，直接对生产...
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