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异平面载药微针阵列的制备方法技术
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文档序号:4098048
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一种医疗仪器技术领域的异平面载药微针阵列的制备方法,通过背面倾斜旋转曝光与传统曝光组合运用获得SU8光刻胶模具。利用PDMS的优良图形复制能力,通过两次PDMS转模得到PDMS模具,然后在PDMS模具上沉积金属种子层后电镀来制备金属微针阵列...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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