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本发明涉及半导体制造领域，提供了一种涂胶显影设备以及控制方法，所述涂胶显影设备包括：片盒模块，所述片盒模块用于储存或转运放置有晶圆的片盒；以及工艺模块，所述工艺模块用于对所述晶圆做工艺处理：其中，所述片盒模块包括：片盒装载单元，所述片盒装载...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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