下载用于光子集成电路的应力减轻结构的技术资料

文档序号:40979124

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本发明提出了一种用于减轻机械应力的结构。该结构包括:衬底;缺口,该缺口形成在衬底中;以及光子层,该光子层形成在衬底上。...
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