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本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种射频电源中提高频率调谐能力的阻抗匹配方法及装置，其中方法包括：S1.将频率设置为频率变化范围的中间值；S2.调节匹配网络中调节电容的容值，以使处于匹配状态时系统阻抗的邻域范围；其中，匹配状态时系统阻抗...该专利属于江苏神州半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏神州半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种射频电源中提高频率调谐能力的阻抗匹配方法及装置，其中方法包括：S1.将频率设置为频率变化范围的中间值；S2.调节匹配网络中调节电容的容值，以使处于匹配状态时系统阻抗的邻域范围；其中，匹配状态时系统阻抗...