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本公开涉及一种微机电系统压电换能器及其制作方法，涉及微机电系统技术领域，微机电系统压电换能器的制作方法，包括：提供基底，在基底的正面上依次形成第一金属层和压电材料层；图案化压电材料层，形成压电薄膜；图案化第一金属层，在压电薄膜的下方形成第一...
该专利属于山东博华电子科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东博华电子科技发展有限公司授权不得商用。

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