【技术实现步骤摘要】
本公开涉及微机电系统(micro electro mechanical system，mems)，特别是涉及一种微机电系统压电换能器及其制作方法。
技术介绍
1、压电换能器是指基于压电效应，将机械能转换为电能或将电能转换为机械能的器件，例如换能器受到声波、水波或外力挤压等机械应力激励时，可实现能量转换产生电信号，广泛应用于水下侦听、爆炸压力触发器、指纹解锁、实时监测管道压力、地震警报等各种军民应用领域。
2、目前，换能器通常采用压电陶瓷球体或块体接收机械应力，压电陶瓷球体或块体的体积大、质量重、能耗大，限制了换能器的应用场景，已不适应于当今社会各类传感器小型化、轻量化的发展需求。
技术实现思路
1、以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
2、第一方面，本公开提供了一种微机电系统压电换能器的制作方法，包括以下步骤：
3、提供基底，在所述基底的正面上依次形成第一金属层和压电材料层；
4、图案化所述压电材料层，
【技术保护点】
1.一种微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，在所述压电薄膜上形成第二电极，包括：
3.根据权利要求1所述的微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，图案化所述第一金属层，在所述压电薄膜的下方形成第一电极的同时，在所述基底上形成第一导线以及第一导电连接端，所述第一电极通过所述第一导线和所述第一导电连接端连接。
4.根据权利要求3所述的微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，在所述压电薄膜上形成第二电极之后，还包括：
5.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，在所述压电薄膜上形成第二电极，包括：
3.根据权利要求1所述的微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，图案化所述第一金属层，在所述压电薄膜的下方形成第一电极的同时，在所述基底上形成第一导线以及第一导电连接端，所述第一电极通过所述第一导线和所述第一导电连接端连接。
4.根据权利要求3所述的微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，在所述压电薄膜上形成第二电极之后，还包括：
5.根据权利要求4所述的微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，所述制作方法在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘通，杨长红，黄世峰，牟言鹏，张晓琳，
申请(专利权)人：山东博华电子科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。