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本发明涉及半导体晶圆传输设备技术领域，尤其是指一种晶圆定位纠偏方法、系统及装置，所述方法包括：针对待测晶圆的尺寸进行参数初始化设置；采集电机转角数据α<subgt;i</subgt;和光学校准器遮光长度数据s<subgt;...
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