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一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法技术
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文档序号:40977280
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本发明公开了一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法,涉及重建式光谱仪技术领域,包括光电探测单元阵列,所述光电探测单元阵列包括若干光电探测单元,所述光电探测单元包括光电探测器和介质膜层,所述光电探测器包括感光部分和电极,所述介质膜层覆盖于...
该专利属于徐州光引科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州光引科技发展有限公司授权不得商用。
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