下载一种具备鳍型结构的高填充因子传感器像素及其制备方法的技术资料

文档序号:40976347

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本发明公开了一种具备鳍型结构的高填充因子传感器像素及其制备方法,其像素包括PIN器件;所述的PIN器件中的P膜层采用鳍形结构,即在其截面上,P膜层的形状为梯形,形成两个具有一定斜度的侧面;PIN器件采用N衬顶的PIN二极管结构。采用上述技术...
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