下载一种防渗漏炼金石墨坩埚生产用气相沉积工艺及装置的技术资料

文档序号:40974150

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本发明公开了一种防渗漏炼金石墨坩埚生产用气相沉积工艺及装置,属于气相沉积技术领域,装置包括外壳,外壳的上方和下方分别转动安装有上安装板和下安装板,上安装板与下安装板固定安装在中间立柱上,中间立柱的轴线方向上设置有多组支管,每一组支管在中间立...
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