下载一种发光二极管外延片制备方法及外延片的技术资料

文档序号:40973945

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本发明涉及半导体器件技术领域,尤其涉及一种发光二极管外延片制备方法及外延片,制备方法包括:提供一衬底;在衬底上沉积缓冲层;在缓冲层上沉积非掺杂GaN层;在非掺杂GaN层上沉积n型GaN层;在n型GaN层上沉积多量子阱层;在多量子阱层上沉积电...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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