温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆测试三维台及晶圆测试方法，晶圆测试三维台包括台板、衬架、动力机构和活动机构，台板位于探针下方，台板上划分有探针运动可覆盖的检测区和非可覆盖的调整区，衬架位于调整区内，衬架上配置有滑板和吸附组件，滑板通过移位组件与衬架活动...
该专利属于新启航半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新启航半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。