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本技术公开了一种晶圆旋转装置，包括底座，所述底座上端连接有立柱，所述立柱上端连接有加工台，所述加工台内壁设有活动槽，所述加工台上端面对称设有与活动槽连通的连接槽，所述加工台右侧外壁安装有第一电机，所述第一电机输出端连接有双向丝杆，所述加工台...
该专利属于苏州英尔捷半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州英尔捷半导体有限公司授权不得商用。

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