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本技术提供了一种晶圆洗刷件、晶圆洗刷件清洗装置和半导体工艺设备。所述晶圆洗刷件包括温感变性材料，所述温感变性材料处于第一温度时，具有第一强度和/或第一粘度，所述温感变性材料处于第二温度时，具有第二强度和/或第二粘度；其中，所述第一温度大于所...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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