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本发明提供一种改善LDMOS击穿电压的结构,包括第一导电类型的衬底,衬底上具有终端区和原胞区,在终端区和原胞区上形成有第二导电类型的埋层,在衬底上形成有外延层,在外延层上形成有第二导电类型的深掺杂阱;在外延层上形成有浅沟槽隔离以定义出LDM...该专利属于华虹半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华虹半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
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