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本发明公开了一种基于硼‑氧共掺N型金刚石的金刚石PN结及其制备方法，首先对金刚石衬底进行表面处理；然后采用MPCVD工艺，通入刻蚀气体和碳源气体在金刚石衬底上外延金刚石缓冲层；之后通入硼源和氧源，继续外延硼‑氧共掺的单晶金刚石，得到硼‑氧共...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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