下载一种氮化镓表面大面积微纳织构的加工方法的技术资料

文档序号:40968704

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本发明提供了一种氮化镓表面大面积微纳织构的加工方法,属于氮化镓表面处理和加工技术领域。该加工方法包括:选择适宜的载荷,对氮化镓基片表面进行机械刻划。本发明对氮化镓基片表面进行机械刻划,从而在氮化镓表面形成大面积微纳织构,与现有飞秒激光、聚焦...
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