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本发明公开了一种激光光电探测器响应度控制方法，在激光光电探测器光敏芯片的芯片厚度、掺杂剂量、光敏面积一定的情况下，通过控制光敏芯片光敏面二氧化硅层的密度及厚度调整来实现响应度的最大值和最小值调整。本发明种，氧化层厚度控制容易，可根据用户需求...
该专利属于西南技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过西南技术物理研究所授权不得商用。

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