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本申请涉及探针卡的清洁装置和方法，用于对所述探针卡的多个探针抛光，涉及探针卡抛光的技术领域，其包括腔体、弹性支撑层和抛光片，所述腔体内设有用于软化所述探针上粘附污物的浸泡液；所述弹性支撑层相连且密封于所述腔体的底部；所述抛光片设于所述弹性支...
该专利属于深圳市道格特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市道格特科技有限公司授权不得商用。

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