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半导体结构的制备方法、半导体结构及半导体器件技术
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文档序号:40966559
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本申请提供一种半导体结构的制备方法、半导体结构及半导体器件,上述方法包括:提供一形成有鳍状结构的衬底;其中,鳍状结构包括在第一方向上排布的器件区和场区;去除鳍状结构中位于场区的第一部分,保留场区的第二部分;基于鳍状结构的上部,形成第一半导体...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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