下载光刻装置及立体光刻方法的技术资料

文档序号:40965932

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本申请实施例提供了一种光刻装置及立体光刻方法。该光刻装置包括弧形衬底、发光单元以及透镜层,其中,该发光单元设置在弧形衬底的内侧壁上,发光单元发出的光线朝向弧形衬底的中心,且发光单元在弧形衬底的内侧壁对应的曲面上线性设置。当对该弧形衬底中心处...
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