下载一种LDMOS器件及其制备方法的技术资料

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公开了一种LDMOS器件及其制备方法,LDMOS器件包括:第一掺杂类型的半导体层;沟槽隔离结构,位于半导体层内,沟槽隔离结构为环形,沟槽隔离结构内部的区域为有源区,沟槽隔离结构以及沟槽隔离结构外侧的区域为终端区;第二掺杂类型的漂移区,位于半...
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