温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及金属氧化物薄膜气相外延领域，具体为一种用于金属有机物化学气相沉积的一体式蒸发喷淋装置。包括U型喷淋头、蒸发室、温度调节装置，U型喷淋头弯折部与蒸发室出气口连通，以使蒸发室与U型喷淋头形成一体，蒸发室内设有用于均匀气流流速的匀气装置...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。