下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:40959913

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一种半导体结构及其形成方法,方法包括:提供衬底,所述衬底包括光电转换区,所述光电转换区的所述衬底中形成有沟槽;在所述沟槽的底部形成第一应力缓冲层;在所述第一应力缓冲层的顶部形成光电转换层,所述第一应力缓冲层的晶格常数介于所述衬底的晶格常数与...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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