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本发明公开一种微沟槽的加工方法,涉及激光加工技术领域,所述微沟槽的加工方法包括以下步骤:S10、预设多个预加工槽的深度,至少一个预加工槽的深度与其他预加工槽的深度不同;S20、根据所述多个预设的预加工槽的深度,采用贝塞尔激光对基材进行加工,...该专利属于迈科半导体技术(广州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈科半导体技术(广州)有限公司授权不得商用。
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