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本发明公开了一种JFET区具有导流层的SiC MOSFET结构及制备方法,结构包括:N‑漂移区层位于N+衬底层的上表面;两个P型基区位于器件两端的N‑漂移区层内;两个P型基区之间形成有JFET区;两个P+体区位于器件两端的P型基区内;两个N...该专利属于西安电子科技大学芜湖研究院所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学芜湖研究院授权不得商用。
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本发明公开了一种JFET区具有导流层的SiC MOSFET结构及制备方法,结构包括:N‑漂移区层位于N+衬底层的上表面;两个P型基区位于器件两端的N‑漂移区层内;两个P型基区之间形成有JFET区;两个P+体区位于器件两端的P型基区内;两个N...