下载一种空气桥及提高空气桥稳定性的方法的技术资料

文档序号:40954474

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本申请公开了一种空气桥及提高空气桥稳定性的方法,属于量子计算机制造领域。提高空气桥稳定性的方法包括:获得用于制造空气桥的第一掩膜;加热第一掩膜以获得第二掩膜;通过第二掩膜依次执行沉积和图案化制得空气桥;空气桥的桥面和桥墩之间具有由所述曲线状...
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