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本发明公开了一种圆型灯的工艺腔体结构，包括安装于晶片加工检测箱体内的腔体，位于腔体的顶部安装有顶腔仓，而位于腔体底部的前侧固定连通有工艺排放管，且位于腔体底部的后侧固定连通有灯管排放管，工艺排放管的表面从上至下依次安装有氧气分析仪和自动排气...
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