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本发明所涉及的永久抗蚀剂用的感光性树脂组合物含有(A)酸改性含乙烯基树脂、(B)热固性树脂、(C)光聚合引发剂、(D)光聚合性化合物、及(H)弹性体，所述光聚合性化合物包含具有异氰脲骨架的光聚合性化合物，所述弹性体包含液状弹性体或平均粒径小...
该专利属于株式会社力森诺科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社力森诺科授权不得商用。

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