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本发明提供一种药液，当将其用作显影液或冲洗液来进行图案的形成时，所得到的图案的分辨率优异，且缺陷产生抑制性也优异。本发明的药液包含芳香族烃、芳香族烃以外的有机溶剂及金属X，芳香族烃仅由氢原子及碳原子组成，芳香族烃的含量相对于药液的总质量为1...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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